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61-9659-57中型プラズマ装置V1000X

61-9659-57中型プラズマ装置V1000X

品番: txVYjA9QDoTdkrz

特徴 プラズマ効率向上のため、特殊電極構造に変更可能 高精度マッチングユニット、RF電源は高信頼性 仕様 プラズマモード:DP/RIE 高周波電源:13.56mHz 出力(mAX):1,000 & 1,500W 電極有効ステージ寸法:幅300×奥行300/mm、二段電極(独立) ...
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アイテム説明

特徴

  • プラズマ効率向上のため、特殊電極構造に変更可能
  • 高精度マッチングユニット、RF電源は高信頼性

仕様

  • プラズマモード:DP/RIE
  • 高周波電源:13.56mHz
  • 出力(mAX):1,000 & 1,500W
  • 電極有効ステージ寸法:幅300×奥行300/mm、二段電極(独立)
  • 反応ガス:マイクロコントロール2系統(パージガス系別途付)
  • 真空ポンプ:670 & 1,500L/min
  • 安全装置:ドアSW、測板インターロック、非常停止SW