特徴
- 薬液の残留を最小限に抑え、液切れも良好です。
- 保護用の側壁により作業時の接触によるダメージを防止します。
仕様
- 型番:K198-80MB-97C02
- ウェハー径(mm):200(8”)
- サイズ(mm):203.20×234.19×219.08
- 収納枚数:25枚
- 連続使用限界温度:120℃
- 材質:STAT-PRO(R)9000(カーボンナノチューブ含有強化PEEK混合炭素化合物)
- 高温ウェハー投入限界温度:340℃
荷姿サイズ:235×220×220 mm 1.12 kg [荷姿サイズについて]